半導(dǎo)體FPD等領(lǐng)域
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熱處理成膜設(shè)備用軸承
熱處理成膜設(shè)備采用的是在高溫環(huán)境下也可進(jìn)行潤(rùn)滑的特殊規(guī)格的軸承。
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EB電子束曝光設(shè)備用軸承
由于 EB 電子束曝光設(shè)備使用的軸承在強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境下工作，因此采用的是非磁性材質(zhì)的陶瓷軸承杀糯。
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蝕刻設(shè)備用軸承
由于蝕刻設(shè)備用軸承在暴露于蝕刻液的狀態(tài)下工作茵肃，所以使用的是耐腐蝕性強(qiáng)的陶瓷材質(zhì)軸承汗菜、及 采用了PTFE 涂層的軸承翰谋。
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離子注入設(shè)備用軸承
離子注入設(shè)備的真空室內(nèi)采用的是捷太格特的高潔凈軸承叭静，可避免因在真空中進(jìn)行潤(rùn)滑齿喧、受到磨損等而產(chǎn)生雜質(zhì)妥析。
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濺鍍?cè)O(shè)備用軸承
濺射設(shè)備的高溫、真空室內(nèi)采用的是高溫 Clean Pro 規(guī)格的軸承轻欣。
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CMP設(shè)備用軸承
由于 CMP 設(shè)備軸承在暴露于研削液的環(huán)境下工作省咨，所以使用的是耐腐蝕性強(qiáng)的陶瓷材質(zhì)軸承，及采用了 PTFE 涂層的軸承玷室。
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檢測(cè)設(shè)備用軸承
檢測(cè)設(shè)備用軸承采用的是對(duì)檢查不造成影響的非磁性軸承零蓉。
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晶片運(yùn)送設(shè)備用軸承
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晶片運(yùn)送設(shè)備要求具備粉塵排放量低、使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)穷缤。
為滿足該用途敌蜂，該裝置采用的是與 Clean Pro 規(guī)格的組合陶瓷直線導(dǎo)軌箩兽，以及薄壁式 K 系列的深溝球型組合陶瓷軸承。
